МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ И СИЛЫ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ

  • РАЗРАБОТКА
  • ПРОИЗВОДСТВО
  • ПРОДАЖА

От достигнутых целей - к новым горизонтам!

тел./факс: +7 (4862) 44-17-15, 41-00-35
тел.: +7 (4862) 303-450

e-mail: ooo@microtensor.ru

302040, Россия,
г. Орел, ул.Ломоносова, д.6, пом. 2

Конструктивные особенности тензопреобразователей

Конструктивные особенности тензопреобразователей:схема

Тензометрический мост
Уитстона

Контактные площадки
из алюминия

Монокристаллическая
сапфировая мембрана

Титановая мембрана

  • Чувствительным элементом тензопреобразователей является двухслойная сапфиро-титановая мембрана с монокристаллическими кремниевыми тензорезисторами.
  • Уникальные изолирующие свойства и радиационная стойкость сапфира позволяют эксплуатировать чувствительный элемент в температурном диапазоне от -200 до +350°С, при высоких электромагнитных помехах и воздействии радиации.
  • Монокристаллическая сапфировая мембрана является идеальным упругим элементом и в соединении с титановой мембраной приобретает лидирующее качество по уровню деформаций, сохраняет упругие свойства до 400°С.
  • Монокристаллические кремниевые тензорезисторы соединены с сапфиром на атомарном уровне (метод гетероэпитаксии) и работают практически без гистерезиса и усталостных явлений во времени.
  • Тензочувствительные элементы изготавливаются групповыми методами твердотельной технологии микроэлектроники и имеют высокое качество и хорошую воспроизводимость выходных параметров.

Тензопреобразователи избыточного давления, изготавливаемые ООО «Микротензор», делятся на три конструктивные группы

Двухмембранные тензопреобразователи (от 0-0,06 до 0-1, МПа)

1.Двухмембранные тензопреобразователи (от 0-0,06 до 0-1 МПа)

Конструкция двухмембранных тензопреобразователей состоит из тензочувствительной мембраны и промежуточной титановой мембраны, которые жестко соединены между собой штоком.
Давление измеряемой среды действует на промежуточную мембрану, которая имеет большую эффективную площадь. Промежуточная мембрана преобразует давление измеряемой среды в силу, которая через шток передается на жесткий центр тензочувствительной мембраны.
 

  1. тензочувствительная мембрана
  2. диэлектрический коллектор
  3. титановый корпус
  4. шток
  5. промежуточная титановая мембрана
Одномембранные сварные тензопреобразователи (от 0-1,6 до 0-100, МПа)

2.Одномембранные сварные тензопреобразователи (от 0-1,6 до 0-10 МПа)

Конструкция одномембранных сварных тензопреобразователей состоит из тензочувствительной мембраны и корпуса, которые соединены между собой сваркой.
Давление измеряемой среды действует на внутреннюю полость тензочувствительной мембраны. Минимальное рабочее давление составляет 0-1,6 МПа.

  1. тензочувствительная мембрана
  2. диэлектрический коллектор
  3. титановый корпус

3.Одномембранные цельноточеные тензопреобразователи (от 0-16 до 0-500 МПа)

Конструкция одномембранных цельноточеных тензопреобразователей не имеет сварных соединений, характеризуется высокой надежностью при воздействии импульсных и высоких давлений.
 

  1. тензочувствительная мембрана
  2. диэлектрический коллектор
  3. титановый корпус