Конструктивные особенности тензопреобразователей
Тензометрический мост
Уитстона
Контактные площадки
из алюминия
Монокристаллическая
сапфировая мембрана
Титановая мембрана
- Чувствительным элементом тензопреобразователей является двухслойная сапфиро-титановая мембрана с монокристаллическими кремниевыми тензорезисторами.
- Уникальные изолирующие свойства и радиационная стойкость сапфира позволяют эксплуатировать чувствительный элемент в температурном диапазоне от -200 до +350°С, при высоких электромагнитных помехах и воздействии радиации.
- Монокристаллическая сапфировая мембрана является идеальным упругим элементом и в соединении с титановой мембраной приобретает лидирующее качество по уровню деформаций, сохраняет упругие свойства до 400°С.
- Монокристаллические кремниевые тензорезисторы соединены с сапфиром на атомарном уровне (метод гетероэпитаксии) и работают практически без гистерезиса и усталостных явлений во времени.
- Тензочувствительные элементы изготавливаются групповыми методами твердотельной технологии микроэлектроники и имеют высокое качество и хорошую воспроизводимость выходных параметров.
Тензопреобразователи избыточного давления, изготавливаемые ООО «Микротензор», делятся на три конструктивные группы
1.Двухмембранные тензопреобразователи (от 0-0,06 до 0-1 МПа)
Конструкция двухмембранных тензопреобразователей состоит из тензочувствительной мембраны и
промежуточной титановой мембраны, которые жестко соединены между собой штоком.
Давление измеряемой среды действует на промежуточную мембрану, которая имеет большую
эффективную площадь. Промежуточная мембрана преобразует давление измеряемой среды в силу,
которая через шток передается на жесткий центр тензочувствительной мембраны.
- тензочувствительная мембрана
- диэлектрический коллектор
- титановый корпус
- шток
- промежуточная титановая мембрана
2.Одномембранные сварные тензопреобразователи (от 0-1,6 до 0-10 МПа)
Конструкция одномембранных сварных тензопреобразователей состоит из тензочувствительной
мембраны и корпуса, которые соединены между собой сваркой.
Давление измеряемой среды действует на внутреннюю полость тензочувствительной мембраны.
Минимальное рабочее давление составляет 0-1,6 МПа.
- тензочувствительная мембрана
- диэлектрический коллектор
- титановый корпус
3.Одномембранные цельноточеные тензопреобразователи (от 0-16 до 0-500 МПа)
Конструкция одномембранных цельноточеных тензопреобразователей не имеет сварных соединений,
характеризуется высокой надежностью при воздействии импульсных и высоких давлений.
- тензочувствительная мембрана
- диэлектрический коллектор
- титановый корпус
Новые разработки
-
Преобразователи высокого давления серии РТМ-М
Диапазон рабочих давлений от 0-100 до 0-400 МПа
-
Высокотемпературные интеллектуальные датчики давления серии PTM-RS
Диапазон рабочих давлений от 0-0,01 до 0-250
-
Высокотемпературный тензопреобразователь давления серии ST
Диапазон рабочих давлений от 0-0,06 до 0-250